第三代半导体革命:磷化铟工程的全球竞逐与技术突破

在半导体材料革命的第三次浪潮中,以氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)为代表的宽禁带半导体已进入产业化阶段。而磷化铟(InP)作为第三代半导体家族的重要成员,正在全球科技竞争中崭露头角。中国科学院微电子研究所最新发布的0.13μm磷化铟HEMT工艺验证报告显示,其射频器件截止频率突破800GHz,这一突破标志着我国在超高频半导体领域取得重要进展。