一、我们提供磷化铟InP、砷化铟InAs、锑化铟InSb、砷化镓GaAs的优势有哪些?
我们专注于提供InP、InAs、InSb、GaAs四大衬底材料及配套解决方案,覆盖外延生长、晶圆加工、复合衬底设计等全流程。依托先进的MOCVD(金属有机化学气相沉积)技术及国际一流工艺团队,产品性能达国际领先水平,满足光电子、微波射频、红外传感等领域的高端需求。
材料优势:
InP/GaAs:直接带隙(1.34-1.42 eV),高电子迁移率(5,400-8,500 cm²/V·s),适配高速光通信与射频器件。
InAs/InSb:窄带隙(0.17-0.36 eV),超高频电子迁移率(77,000 cm²/V·s),支撑红外探测与量子点光源。
协同特性:与SiC(热导率4.9 W/cm·K)、蓝宝石(化学惰性)结合,实现高功率散热与极端环境稳定性。
应用领域:
光通信:InP激光器(100G/400G模块)、GaAs光电探测器。
新能源:SiC-on-InP功率模块(电动汽车逆变器)、GaAs光伏电池。
量子技术:InAs量子点(单光子源)、InSb磁量子传感器。
服务亮点:
异质集成:支持InP-on-SiC、GaAs-on-Blue Sapphire等复合衬底,兼容MOCVD与MBE外延。
多材料加工:提供硅通孔(TSV)、金属互联(AuSn焊料)等跨材料工艺,适配2.5D/3D封装。
二、我们的核心优势
结合先进材料与工艺,提供多元化复合衬底解决方案:
1. 跨材料异质集成

·InP-on-SiC:结合InP光电性能与SiC高导热性,用于高功率激光雷达(LiDAR)模块,散热效率提升40%。
·GaAs-on-Blue Sapphire:利用蓝宝石化学惰性封装GaAs光电器件,延长寿命至10万小时(车规级认证)。
·InSb-on-Silicon:在硅基衬底上集成InSb磁敏层,实现低成本磁场传感器阵列。
·GaAs/金刚石复合衬底:通过背面沉积金刚石层(200–1000 μm),显著提升散热性能,适用于大功率激光器及射频器件。
·InP/Si键合衬底:采用室温晶圆键合技术,实现低电阻界面(<0.1 Ω·cm²),支持光电集成与多结太阳能电池。
·InAs纳米线异质结衬底:垂直生长InAs-InP纳米线阵列,增强红外探测灵敏度,适配焦平面阵列(FPA)。
·InSb基多功能外延片:结合MOCVD技术,定制多量子阱结构,优化长波红外器件性能。
2. 多尺寸与复合衬底

·晶圆规格:支持2-12英寸InP/GaAs晶圆,兼容4英寸InAs/InSb特殊尺寸。
·复合衬底:提供InP/GaAs叠层、InSb-on-InP异质结,适配光子集成电路(PIC)与射频前端模块。
3. 先进加工能力

·纳米级工艺:晶圆切割精度±0.1μm,表面粗糙度Ra <0.2nm(CMP抛光)。
·跨材料键合:支持硅通孔(TSV)、铜柱凸块(Cu Pillar)技术,实现2.5D封装集成。
三、磷化铟InP、砷化铟InAs、锑化铟InSb、砷化镓GaAs的材料特征及应用?
1. 磷化铟(InP)
特性:禁带宽度1.34 eV,电子迁移率高达3000–4500 cm²/(V·s),热导率优于GaAs,支持高频(>100 GHz)及低噪声器件。
应用:
光通信:VCSEL/DFB激光器(用于400G/800G光模块)、APD光电探测器(提升光纤传输效率)。
微波器件:毫米波放大器(支持60 GHz+频段)、卫星通信高频芯片(低相位噪声设计)。
量子技术:单光子雪崩二极管(SPAD,用于量子密钥分发系统)。
2. 砷化铟(InAs)
特性:窄带隙(0.36 eV),高电子迁移率,适用于中短波红外(SWIR/MWIR)探测。
应用:
红外传感:非制冷红外焦平面阵列(无人机热成像)、气体监测传感器(检测CO₂/CH₄泄漏)。
量子器件:纳米线光电二极管(集成于硅基量子计算芯片)。
3. 锑化铟(InSb)
特性:超窄带隙(0.17 eV),高电子迁移率,适用于长波红外(LWIR)探测。
应用:
军事与航天:导弹制导系统(抗干扰热成像)、航天器低温辐射探测仪。
医疗设备:高精度红外测温仪(非接触式体温监测)。
4. 砷化镓(GaAs)
特性:禁带宽度1.42 eV,高频性能优异,耐高温及抗辐射。
应用:
射频器件:5G基站GaN-on-GaAs功率放大器(效率>70%)、卫星通信LNA低噪声模块。
光电子:VCSEL激光器(3D传感/AR/VR)、多结太阳能电池(太空应用,转换效率>32%)。
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