硅片由于其优异的平整度和可靠的光学特性,通常用于真空沉积系统的厚度工具。同时,硅片是制造光电器件的良好衬底候选者。现在也可以使用合适尺寸的晶片切割。
8英寸硅晶片规范
产品尺寸。8英寸单面抛光硅片
生产方法。切克劳斯基 (CZ)
直径和公差mm. 200 ± 0.3毫米
型号/掺杂类型。N型 (磷、砷) P型 (硼掺杂)
晶体取向。<111><100><110>
电阻率。0.001-50 (ohm-cm) (可根据客户要求定制不同的电阻率范围)
平整度TIR。<3um; 翘曲台视。<10um; 弯曲弓。<10um
粗糙度Ra <0.5nm; 粒度pewaferr <10 0.3um
包装25件包装100级洁净室双层真空包装
应用
1.厚度工装
2.器件制造用基板
硅片库存清单 (IC级,拉法CZ)
直拉单面抛光硅片
1英寸 (25.4毫米) 单面抛光直拉晶片厚度500um
2英寸 (50.8毫米) 单面抛光直拉晶片厚度280um
3英寸 (76.2毫米) 单面抛光直拉晶片厚度380um
厚度为500um的4英寸 (100毫米) 单面抛光直拉硅片
5英寸 (125毫米) 单面抛光直拉晶片厚度625um
6英寸 (150毫米) 单面抛光直拉晶片厚度675um
直拉双面抛光硅片
1英寸 (25.4毫米) 双面抛光直拉晶片厚度500um
2英寸 (50.8毫米) 双面抛光直拉晶片厚度280um
3英寸 (76.2毫米) 双面抛光直拉晶片厚度380um
4英寸 (100毫米) 双面抛光直拉晶片厚度500um
5英寸 (125毫米) 双面抛光直拉晶片厚度625um
6英寸 (150毫米) 双面抛光直拉晶片厚度675um
直拉单面抛光超薄硅片
1英寸 (25.4毫米) 单面抛光超薄直拉硅片厚度100um
2英寸 (50.8毫米) 单面抛光超薄直拉硅片厚度100um
3英寸 (76.2毫米) 单面抛光超薄直拉硅片厚度100um
厚度为100um的4英寸 (100毫米) 单面抛光超薄直拉硅晶片
直拉双面抛光超薄硅片
1英寸 (25.4毫米) 双面抛光超薄Czochralski晶片厚度100um
2英寸 (50.8毫米) 双面抛光超薄Czochralski晶片厚度100um
3英寸 (76.2毫米) 双面抛光超薄Czochralski晶片厚度100um
4英寸 (100毫米) 双面抛光超薄Czochralski晶片厚度100um
硅片 (IC级,区熔FZ)
区域熔化单面抛光硅片
单面抛光区域的1英寸 (25.4毫米) 熔合硅片厚度500um
2英寸 (50.8毫米) 单侧抛光区域熔合硅片厚度280um
单侧抛光区域的3英寸 (76.2毫米) 熔合硅片厚度380um
4英寸 (100毫米) 单侧抛光区域熔合硅片厚度500um
区熔双面抛光硅片
双面抛光区域的1英寸 (25.4毫米) 熔合硅片厚度500um
双面抛光区域的2英寸 (50.8毫米) 熔合硅片厚度280um
双面抛光区域中的3英寸 (76.2毫米) 熔合硅片厚度380um
双面抛光区域的4英寸 (100毫米) 熔合硅片厚度500um
区熔单面抛光超薄硅片
1英寸 (25.4毫米) 单面抛光区熔化超薄硅片厚度100um
2英寸 (50.8毫米) 单面抛光区熔化超薄硅片厚度100um
3英寸 (76.2毫米) 单面抛光区熔化超薄硅片厚度100um
4英寸 (100毫米) 单面抛光区熔化超薄硅片厚度100um
区熔双面抛光超薄硅片
1英寸 (25.4毫米) 双面抛光区熔化超薄硅片厚度100um
2英寸 (50.8毫米) 双面抛光区熔化超薄硅片厚度100um
3英寸 (76.2毫米) 双面抛光区熔化超薄硅片厚度100um
4英寸 (100毫米) 双面抛光区熔化超薄硅片厚度100um