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6英寸硅晶圆

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一、6英寸硅晶圆的标准参数表如下:

优质硅晶片6英寸/150毫米,厚度:380微米

规格:优质硅晶片6英寸/150毫米,厚度:380微米,DSP

取向:硅<100>

掺杂:N型磷

电阻率:1-10欧姆-厘米

厚度:380微米±20微米

生长方法:CZ

双面抛光 TTV:<3um

表面粗糙度:<1  nm

弯曲度:<30  um

对准基准:2  SSF(SEM  STD  平坦)

6英寸硅晶圆
4英寸蓝宝石衬底晶片,双面抛光,M轴,C轴,A轴100um6英寸蓝宝石晶圆

规格解读:

  1. 直径:6英寸 (150毫米)

    • 这是指硅晶圆的直径。6英寸是一个传统的英制单位称呼,在半导体行业,公制单位(150mm)同样被广泛使用。这是指晶圆的标准尺寸。

    • 这是一个曾经非常主流的尺寸,但现在更先进的产线普遍使用8英寸(200mm)和12英寸(300mm)的晶圆,因为大晶圆可以在一次工艺中生产出更多的芯片,从而降低成本。

    • 6英寸晶圆目前常用于:

      • 微波射频(RF)器件

      • 功率器件(如IGBT、MOSFET)

      • 模拟芯片

      • 传感器和微机电系统(MEMS)

      • 光电器件

      • 一些成熟制程的芯片

  2. 厚度:380微米 (μm)

    • 这是硅晶片在抛光后的初始厚度。1微米是百万分之一米。

    • 380μm(约0.38mm)是这个直径晶圆的一个非常典型的标准厚度。这个厚度是为了在制造过程中提供足够的机械强度,以防止晶圆在传输、光刻、热处理等步骤中发生弯曲或碎裂。

    • 需要注意的是,对于许多最终产品(尤其是需要封装在小型封装中的芯片),这个初始厚度太厚了。因此,在芯片在前道工艺(Front-End-of-Line, FEOL)制造完成后,通常会通过背面减薄(Back Grinding) 工艺将其磨薄,可能减薄到100-200μm甚至更薄(对于超薄芯片或堆叠封装)。

总结与应用场景

您所描述的是一张标准规格的6英寸/150mm硅晶圆,其厚度是出厂初始厚度

  • 它是什么? 它是制造半导体芯片的基底材料。

  • 用它做什么? 在这种晶圆上,通过一系列复杂的半导体制造工艺(如光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等),可以制作出成千上万个相同的芯片(Die)。

  • 后续工艺: 在芯片电路制作完成后,晶圆会被减薄、切割成单个芯片,然后进行封装和测试,最终成为我们日常生活中电子设备里的各种芯片。

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