一、蓝宝石衬底是什么?
蓝宝石化学式(α-Al2O3),为六方晶格结构。化学性质非常稳定,不溶于水,耐强酸、强碱的腐蚀。莫氏硬度9级,熔点为2050℃,沸点3500℃,最高工作温度可达1900℃。透光性好,热传导性和电气绝缘性,力学机械性能表现优秀,具有耐磨和抗划伤的特点。

二、蓝宝石衬底的产品规格书
| 蓝宝石A-M-R向单晶衬底(2~6英寸) | |||||||||
| 材料成分 | >99.99%,High Purity, Mono-crystalline Al2O3 (KY) | ||||||||
| 端面晶向 | A-plane (11-20) ± 0.1° | R-plane (1-102) ± 0.1° | M-plane (1-100) ± 0.1° | ||||||
| 直径 | 50.8mm | 100mm | 150mm | 50.8mm | 100mm | 150mm | 50.8mm | 100mm | 150mm |
| 厚度 | 430um | 650um | 1000um | 430um | 650um | 1000um | 430um | 650um | 1000um |
| 定位边晶向 | M-plane ± 0.3° | Counter clockwise 45 from C-axis | A-plane ± 0.3° | ||||||
| 定位边长度 | 16mm | 30mm | 47.5mm | 16mm | 30mm | 47.5mm | 16mm | 30mm | 47.5mm |
| 正面状态 | Epi-polished,Ra<0.3nm | ||||||||
| 反面状态 | SSP:Fine-ground,Ra=0.8-1.2um; DSP:Epi-polished,Ra<0.3nm | ||||||||
| 总厚度偏差TTV | <10 um | <20 um | <25 um | <10 um | <20 um | <25 um | <10 um | <20 um | <25 um |
| 弯曲度BOW | -15~0 um | -25~0 um | -35~0 um | -15~0 um | -25~0 um | -35~0 um | -15~0 um | -25~0 um | -35~0 um |
| 翘曲度WARP | <15 um | <30 um | <40 um | <15 um | <30 um | <40 um | <15 um | <25 um | <40 um |
| 边缘去除 | ≤2 mm | ||||||||
三、蓝宝石衬底的产品性能特点?
| 蓝宝石单晶 Sapphire | |
| 晶体结构 | 六方晶体 |
| 禁带宽度(eV) | / |
| 熔点(℃) | 2040℃ |
| 莫氏硬度(mohs) | 9 |
| 热导率(W·cm-1·℃-1) | 0.46W·cm-1·℃-1 |
| 热膨胀系数(℃-1) | 6.7*10-6 // C-axis 5.0*10-6 ⊥C-axis |
| 晶格常数(nm) | a=4.76Å c=12.99Å |
| 折射率 | 1.762~1.777 |
| 透过率 | 测试样品:蓝宝石:直径76.2毫米×厚度4毫米 紫外线:波长200至380纳米,透过率74%至84% 可见光:波长380至760纳米,透过率85% 红外线:波长760至1000纳米,透过率85% 远红外线:波长大于1000纳米,透过率80%至100% |
四、蓝宝石衬底的主要应用方向。
高效LED(减少极化效应,提高发光效率)、高性能激光二极管(降低阈值电流,提高输出功率)
2寸蓝宝石衬底 0.17mm 单抛 双抛 厚度可定制 6英寸C面(0001)蓝宝石晶片 提供6寸蓝宝石衬底 8寸图形化蓝宝石










