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Ge锗衬底

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一、Ge锗衬底是什么材料有什么用?

Ge锗单晶是制作半导体器件,红外光学器件,及太阳能电池衬底。

锗衬底
二、锗单晶衬底有什么优点?

1.红外光学衬底

2.半导体衬底

三、锗单晶衬底的性能指标?

生长方法
提拉法
晶体结构
立方
晶格常数
a=5.65754 Å
密 度(g/cm3
5.323
熔点(℃)
937.4
掺杂物质
不掺杂
掺Sb
掺Ga
类型
/
N
P
电阻率
>35Ωcm
0.01~10Ωcm
0.01~10Ωcm
EPD
<4×103∕cm2
<4×103∕cm2
<4×103∕cm2
尺寸
10×3,10×5,10×10,15×15,20×15,20×20
Dia4″,Dia3″;Dia2”;或按照客户要求划片
厚度
0.5mm,1.0mm
抛光
单面或双面
晶向
<100>、<110>、<111>、±0.5º
晶面定向精度
±0.5°

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