一、Ge锗衬底是什么材料有什么用?
Ge锗单晶是制作半导体器件,红外光学器件,及太阳能电池衬底。

二、锗单晶衬底有什么优点?
1.红外光学衬底
2.半导体衬底
三、锗单晶衬底的性能指标?
生长方法 | 提拉法 | ||
晶体结构 | 立方 | ||
晶格常数 | a=5.65754 Å | ||
| 密 度(g/cm3) | 5.323 | ||
熔点(℃) | 937.4 | ||
掺杂物质 | 不掺杂 | 掺Sb | 掺Ga |
类型 | / | N | P |
电阻率 | >35Ωcm | 0.01~10Ωcm | 0.01~10Ωcm |
EPD | <4×103∕cm2 | <4×103∕cm2 | <4×103∕cm2 |
尺寸 | 10×3,10×5,10×10,15×15,20×15,20×20 | ||
Dia4″,Dia3″;Dia2”;或按照客户要求划片 | |||
厚度 | 0.5mm,1.0mm | ||
抛光 | 单面或双面 | ||
晶向 | <100>、<110>、<111>、±0.5º | ||
晶面定向精度 | ±0.5° | ||
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