一、2英寸AIN单晶衬底是什么?有那些应用?
2英寸AlN 衬底、氮化铝单晶衬底片是超宽禁带原生衬底,主流采用PVT 物理气相传输法生长纤锌矿 2H-AlN 单晶,是 UVC 深紫外 LED、AlGaN 紫外激光器、高频压电 AlScN、高温功率器件的核心外延基底。
2英寸AlN自支撑氮化铝单晶衬底的主要应用:AlScN 压电薄膜器件;紫外激光器、紫外光电探测器;UVC 深紫外 LED(265nm 杀菌)
二、2英寸AIN衬底规格参数表:

三、2英寸氮化铝单晶衬底价格为什么那么贵?影响氮化铝单晶价格的因素有哪些?
2英寸氮化铝单晶衬底目前市场价格约为18000元/片-28000元/片。氮化铝单晶衬底为什么那么贵?
首先,氮化铝的晶体质量是决定价格高低的主要原因。比如位错密度 TD,XRD 摇摆曲线 FWHM,平整度与形变:TTV / Bow / Warp,表面品质(Epi-ready)等。其次是晶向、偏角、厚度、外形规格。











