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A-R-M特殊晶向蓝宝石衬底

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蓝宝石衬底 A-R-M特殊晶向蓝宝石衬底 5358
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一、蓝宝石衬底是什么?

蓝宝石化学式(α-Al2O3),为六方晶格结构。化学性质非常稳定,不溶于水,耐强酸、强碱的腐蚀。莫氏硬度9级,熔点为2050℃,沸点3500℃,最高工作温度可达1900℃。透光性好,热传导性和电气绝缘性,力学机械性能表现优秀,具有耐磨和抗划伤的特点。

A-R-M特殊晶向蓝宝石衬底-1
Sapphire Substrate

二、蓝宝石衬底的产品规格书

蓝宝石A-M-R向单晶衬底(2~6英寸)
材料成分 >99.99%,High Purity, Mono-crystalline Al2O3 (KY)
端面晶向 A-plane (11-20) ± 0.1° R-plane (1-102) ± 0.1° M-plane (1-100) ± 0.1°
直径 50.8mm 100mm 150mm 50.8mm 100mm 150mm 50.8mm 100mm 150mm
厚度 430um 650um 1000um 430um 650um 1000um 430um 650um 1000um
定位边晶向 M-plane ± 0.3° Counter clockwise 45 from C-axis A-plane ± 0.3°
定位边长度 16mm 30mm 47.5mm 16mm 30mm 47.5mm 16mm 30mm 47.5mm
正面状态 Epi-polished,Ra<0.3nm
反面状态 SSP:Fine-ground,Ra=0.8-1.2um; DSP:Epi-polished,Ra<0.3nm
总厚度偏差TTV <10 um <20 um <25 um <10 um <20 um <25 um <10 um <20 um <25 um
弯曲度BOW -15~0 um -25~0 um -35~0 um -15~0 um -25~0 um -35~0 um -15~0 um -25~0 um -35~0 um
翘曲度WARP <15 um <30 um <40 um <15 um <30 um <40 um <15 um <25 um <40 um
边缘去除 ≤2 mm

三、蓝宝石衬底的产品性能特点?

蓝宝石单晶 Sapphire
晶体结构 六方晶体
禁带宽度(eV) /
熔点(℃) 2040℃
莫氏硬度(mohs) 9
热导率(W·cm-1·℃-1) 0.46W·cm-1·℃-1
热膨胀系数(℃-1) 6.7*10-6 // C-axis
5.0*10-6 ⊥C-axis
晶格常数(nm) a=4.76Å c=12.99Å
折射率 1.762~1.777
透过率 测试样品:蓝宝石:直径76.2毫米×厚度4毫米
紫外线:波长200至380纳米,透过率74%至84%
可见光:波长380至760纳米,透过率85%
红外线:波长760至1000纳米,透过率85%
远红外线:波长大于1000纳米,透过率80%至100%

四、蓝宝石衬底的主要应用方向。

高效LED(减少极化效应,提高发光效率)、高性能激光二极管(降低阈值电流,提高输出功率)

2寸蓝宝石衬底 0.17mm 单抛 双抛 厚度可定制  6英寸C面(0001)蓝宝石晶片   提供6寸蓝宝石衬底    8寸图形化蓝宝石

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