YAG激光晶圆的存储和运输需要特别小心,以确保其质量和性能不受损害。以下是关于YAG激光晶圆存储和运输的详细方法:
存储方法:
YAG激光晶圆通常存储在氮气柜中,这是因为氮气柜可以通入高纯氮气,有效控制湿度和温度,从而为晶圆提供一个稳定且洁净的存储环境1。
氮气柜的湿度一般控制在20-24℃,湿度范围在30%-50%,但具体参数可能需要根据现场情况来调整,以确保最佳存储条件1。
运输方法:
在运输过程中,YAG激光晶圆首先被放置在专门的晶圆盒中,这些晶圆盒会被放入防静电的袋子里,并且袋子会被抽真空,以进一步保护晶圆免受外界环境的影响1。
装有晶圆的袋子随后会被放入箱子中,箱子内部会配备软垫等缓冲材料,以防止在运输过程中由于颠簸或碰撞而对晶圆造成损害1。
对于有条件的运输,还可以在运输车辆内创造氮气环境,并控制温度和湿度,以确保晶圆在运输过程中的稳定性和安全性1。
此外,在运输过程中,标签的贴附也是非常重要的,它有助于跟踪和管理晶圆,确保其在整个运输过程中的可追溯性1。
综上所述,YAG激光晶圆的存储和运输都需要严格遵循一定的规范和流程,以确保其质量和性能不受损害。正确的存储和运输方法对于保护晶圆、提高生产效率以及确保最终产品的可靠性都至关重要。
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